Ab Mitte des 18. Jahrhunderts wurde die bisher übliche Nutzung der Kirchhöfe als innerörtliche Begräbnisstätten aus hygienischen Gründen aufgegeben.
Dies führte zur Schließung der beiden innerstädtischen Friedhöfe in Charlottenburg und ab 1815 zur Anlage des Luisenfriedhofes östlich von Lützow nach den Plänen des Kgl. Hofgärtners George Steiner, der landschaftliche und geometrische Formen miteinander verband.
Spätere Erweiterungen und gravierende Veränderungen der ursprünglichen Anlage nahmen dem Friedhof den intendierten melancholisch-moralischen Charakter. 1884 wurde der Friedhof geschlossen. Die Wiedereröffnung fand im Mai 1945 statt. Es folgten schwere Kriegsschäden, große Flächenabtretungen und in den 1960er Jahren Zerstörung oder Umwidmung von Erbbegräbnissen.
Der älteste der drei Luisenkirchhöfe ist 1815 außerhalb der Stadtgrenzen Charlottenburgs angelegt worden. Er ersetzte frühere Begräbnisstätten, die sich auf dem Hof der Kirche von Lützow und im Bereich der heutigen Warburgzeile und Loschmidtstraße befanden.
Auf Betreiben des Charlottenburger Bürgermeisters Otto Ferdinand Sydow (1754-1818) wurde der am Schloss Charlottenburg tätige Königliche Hofgärtner George Steiner (1774-1834) mit der Gestaltung der Kirchhofsanlage betraut. Am 16.07.1815 wurde der Friedhof eingeweiht.
Von Steiners ursprünglicher Anlage sind kaum noch Spuren erhalten geblieben, weil sie durch Geländeabtretungen an das Kaiserin-Augusta-Gymnasium (heute Ludwig-Cauer-Grundschule) und die Evangelische Schule Charlottenburg sowie durch Schäden im Zweiten Weltkrieg, teilweise Zerstörungen in den 1960er Jahren und Umwidmung von Erbbegräbnissen große Veränderungen erfuhr. Mit einer Fläche von 16.381 m² wird der Friedhof heute von den Häusern der Cauerstraße sowie den oben genannten Schulen eingegrenzt.