Wilfried Peters absolvierte sein Jurastudium von 1984 bis 1989 in Kiel und Göttingen.
Anschließend war er wissenschaftlicher Mitarbeiter und Doktorand an der Universität Hannover.
Nach dem Referendariat begann er 1995 seine berufliche Tätigkeit als Rechtsanwalt in einer Sozietät mit Schwerpunkt im Öffentlichen Recht.
1999 wurde Dr. Peters Richter am Verwaltungsgericht Potsdam.
Von 2001 bis 2003 war er Referent beim Ministerium der Justiz Brandenburg und bei der Verwaltung des brandenburgischen Landtages.
Anschließend wurde er an das Oberverwaltungsgericht Frankfurt (Oder) abgeordnet und dort 2005 zum Richter am Oberverwaltungsgericht ernannt. Im gleichen Jahr erfolgte seine Ernennung zum Richter am Oberverwaltungsgericht Berlin-Brandenburg.
Dr. Wilfried Peters ist seit April 2010 Vizepräsident des Verwaltungsgerichts Berlin.